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他辭去海外終身職位 帶整建制團隊回國攻堅半導體


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不久前,達博做出了一個重要決定:辭去日本國立材料研究所(NIMS)的永久研究職位,帶領一支由多名獨立科研骨幹組成的團隊回國發展。

深耕半導體裝備關鍵材料與核心部件領域多年,達博是極少數深度參與 2022 年後國際半導體一線產業項目的中國籍學者。他牽頭美國泛林集團(Lam Research)與 NIMS 聯合研發項目,聚焦台積電 3 nm 量產產線,主攻電子束設備、刻蝕設備的關鍵材料與核心部件研發與應用攻關 [1]。




圖丨美國泛林集團(Lam Research)捐贈新聞稿(來源:泛林日本

做出回國抉擇,他放棄了諸多優厚機會。泛林集團與他長期合作,過往曾多次給予無償捐贈支持。今年 4 月 27 日,在得知他決意辭職後,泛林方面隨後再次提出無償捐贈支持,希望其繼續推進相關合作研究。與此同時,多家海外企業也向他拋出優厚合作條件,但這些因素已不能動搖達博全職回國的決心。

如今,他已正式受聘於母校中國科學技術大學工程科學學院擔任講席教授。這個選擇看似突然但恰好踩在一個關鍵節點上:當半導體制程逼近亞納米尺度,決定勝負的不再只是半導體裝備的設計與集成,而是那些裝備中更底層、也更難被看見的材料與部件能力。


他和團隊想做的事情不僅是在高水平學術期刊上發表論文,更是要為國產半導體裝備築牢自主可控的“筋骨與基石”。恰逢當前國內半導體產業攻堅的關鍵時期,此時回國正當其時,團隊多年積累的行業積澱與技術經驗,也正好能為國家產業發展貢獻力量。

那個從甘肅大山走出的少年,成為 NIMS 最年輕的永久職位研究人員

這位 85 後出生於甘肅省隴南市康縣。康縣素有“隴上江南”之稱,山水秀麗,卻也因地處秦巴山區、交通不便,教育資源十分有限。他以市應屆高考狀元的成績,進入中國科學技術大學物理學專業就讀。


達博回憶道:“年少讀書時只有一個想法,那就是通過積極努力去獲得改變環境的機會。在那個交通閉塞的年代,我對世界的很多認知都來源於書本,對未知世界的渴望和想象是我學習最大的動力。”

從本科到碩士再到博士,達博在中國科學技術大學度過了 9 年時光,師從丁澤軍教授。在此期間他圍繞半導體裝備進行了大量理論研究,本科畢業論文是用理論方法研究電子束曝光機的工藝問題。

在中科大求學期間的數理功底與基礎研究積累為日後的發展打下了堅實的基礎,達博也找到了明確的發展方向——先進制程半導體裝備中的關鍵材料與核心部件。彼時,日本在半導體設備領域處於領先地位,荷蘭 ASML 公司還不像如今那樣有名。


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